　FX-103SHは、照明系とマルチレンズシステムに「FX-86SH2」で開発した独自の解像度向上技術を適用し、第10.5世代向けに最適化した。また、新たなオートフォーカスシステムを搭載。マスクたわみやプレート平面度などの誤差を補正する。解像度は2.2μm（L／S：Line and Space）と高く、広い実用焦点深度を確保する。

　計測精度も向上しており、FX-101Sの位置計測システムを新たに設計したことで、アライメント精度が±0.5μmと高精度になった。スループットも大幅に向上。65インチパネルを生産対象とした場合は毎時480枚で、これは従来機比77％増となる。75インチパネルでは、毎時322枚を達成している。

　両製品は、中小型高精細パネルの生産に適した第6世代プレートサイズ対応露光装置「FX-67S2」と、テレビ用パネル生産向けの第8世代プレートサイズ対応露光装置FX-86SH2の技術を融合し開発された。

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