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» 2017年12月06日 07時00分 公開

東京エレクトロン デバイス CX-M:専門知識不要、時系列データのみで異常判別プログラムを自動生成する専用マシン

東京エレクトロン デバイスは、時系列データから装置の異常判別プログラムを自動生成する専用マシン「CX-M」を開発。人手によるデータ分析作業を自動化するもので、あらかじめ用意した時系列データ入力するだけで、異常判別プログラムの自動生成が行える。

[八木沢篤,TechFactory]

 東京エレクトロン デバイスは2017年11月28日、時系列データから装置の異常判別プログラムを自動生成する専用マシン「CX-M」を開発し、同日から販売を開始した。

 これまで工数の掛かっていた人手によるデータ分析作業を自動化するもので、あらかじめ用意した時系列データ(正常/異常データ)を入力するだけで、「データクレンジング」「特徴抽出」「判別モデル作成」「判別精度検証」をCX-Mのソフトウェアで自動処理し、異常判別プログラムの生成および出力が行える。製造設備開発担当者、管理業務者をターゲットとしている。

設備機器の異常検知の実現が容易に、“誰でも簡単操作”が売りの「CX-M」

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