大原雄介のエレ・組み込みプレイバック
Samsungが3nm世代で採用した「GAA」とは(2/5 ページ)
さて、GAAはFinFETの次の構造ということで研究そのものは以前から行われていたが、実装はかなり遅く、トランジスタレベルの発表はともかく集積回路の発表は2017年にimecとApplied Microによる共同研究が初めてではなかったかと思う。その2017年に、Samsungは早くもGAAを自身のロードマップに示している(Photo01)。
この当時のSamsungのロードマップでは、2015年からのFinFET導入に加え、2018年に7nm世代にEUV露光を導入。2020年にGAAに切り替え、というものだった。翌2018年に同社はIEDMで、MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET)という名称で、このGAAを利用したトランジスタの特性などを発表している(Photo02)。
もっともSamsungにしても、GAAの構築は一筋縄ではいかなかったようだ。2017年当時は4nm世代で導入するとしていたGAAであるが、2018年のSamsung Foundry Forumではこれを3nm世代に後送りする(Photo03)事をアナウンスしている。
この時の公式な説明は、「4nmはGAAを利用しなくても構築できると判ったので、3nmに移行した」というものだったが、要するにGAAの量産にはまだ時間が掛かるので、4nm世代は5nmの派生型として構築する事を決めた、という形だ。2019年には、2021年をターゲットに最初のプロセスである3GAEを展開すると説明されていた(Photo04)が、実際には2021年中には展開されなかった。
ただ2021年10月に開催されたSamsung Foundry Forumにおいては、あらためて2022年中に量産開始すると説明されており(Photo05)、実際6月30日に量産開始の発表が成された格好だ。
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