アズビル F4H

製造装置組み込み用小型デジタルマスフローコントローラー

アズビルは、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。

公開 2016年07月01日 10時00分

更新 2017年12月22日 18時03分

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提供：MONOist編集部

[TechFactory]

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　アズビルは2016年6月6日、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。同社独自の高感度流速センサー「マイクロフローセンサ」を採用し、0.3secの高速制御を可能にした。

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　F4Hは、電気電子部品の製造装置や理化学分野の各種分析装置・培養装置向けに機能を特化。加えて、小型バルブの採用や基板レイアウトの工夫により、従来機種に比べて体積比で50％小型化した。

　また、汎用のデジタル通信機能を標準で搭載している。RS485／Modbus RTUに対応したことで、他の機器と市販のLANケーブルで接続が可能。これにより、上位機器のアナログ入力モジュールやアナログ入力信号ごとの配線を不要とし、流量値に加え、バルブ駆動電流モニター・自己診断によるアラームなどの情報を容易に出力できる。

　ラインアップは、フルスケール流量（空気・窒素）が200ml／minの「F4H9200」、同500ml／minの「F4H9500」、2.00ml／minの「F4H0002」の3種で、価格は15万円から。同社では今後、対応通信規格を順次拡大するとしている。