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マルチソース分析機能を追加した異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」東京エレクトロン デバイス CX-M ver2.1

東京エレクトロン デバイスは、IoT向け異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に、複数の時系列データを分析して生産設備の状態を分類および判別するモデルを自動生成する「マルチソース分析機能」を追加し、「CX-M ver2.1」として提供を開始した。

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 東京エレクトロン デバイスは2018年8月7日、IoT(Internet of Things)向け異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に、複数の時系列データを分析して生産設備の状態を分類および判別するモデルを自動生成する「マルチソース分析機能」を追加し、「CX-M ver2.1」として提供開始した(関連記事:専門知識不要、時系列データのみで異常判別プログラムを自動生成する専用マシン)。


「CX-M ver2.1」では複数のデータソースの挙動を考慮した分析が可能に

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