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半導体パラメーターアナライザの基礎知識:正確な電気特性評価のための注意点テクトロニクス提供Webキャスト

半導体デバイスの高精度な電気特性評価のために導入が進んでいる半導体パラメーターアナライザ。その活用を最適化するため、導入前に知っておきたい測定機能などの基礎知識について、動画で詳細に解説する。

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 半導体デバイスの電気特性を評価する際は、SN比の影響で小さい容量を高精度に測定できないといった、測定精度の課題に直面しやすい。また、複数の特性評価測定の切り替えに時間がかかる、測定手順が煩雑など、効率性の問題に頭を抱える担当者も多い。

 こうした課題を解決するために多くの企業で導入が検討されているのが、1桁フェムトファラドの高精度測定も可能な半導体パラメーターアナライザだ。高感度の電流/電圧測定やインピーダンス測定(CV測定)、超速IV測定(パルス測定)が1台で簡単、正確に実現できる測定器として活躍しているという。

 本動画は、導入前に知っておきたい基本的な知識やそれぞれの機能、具体的な配線を含む測定時の注意点などについて詳細に解説したものだ。現行手法よりも精度や効率を上げる方法を知りたいという企業に最適な内容となっているので、ぜひ参考にしてほしい。

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