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新たなゲート開閉動作方式で3倍長寿命になった真空バルブ：L字型に動きます
真空封止の必要な装置や設備に必須の部品が真空バルブだ。その真空バルブ業界で、新たな開閉動作方式を採用することにより大幅な長寿命化を実現した製品が登場した。
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真空封止の必要な装置や設備に必須の部品が真空バルブだ。例えば半導体製造装置の場合、プロセスを施す処理室の内部をいったん真空排気する必要がある。その時に、高レベルな真空状態を保持するための部品が真空バルブなのだ。真空バルブの世界的な専業メーカーであるVATは、新たな開閉動作方式を採用した真空バルブを開発。競合他社と比べて大幅な長寿命化を実現した。その技術詳細を以下に紹介しよう。
提供：VAT株式会社
アイティメディア営業企画／制作：TechFactory 編集部／掲載内容有効期限：2015年9月16日
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