［PR］DXがもたらす半導体製造プロセスの変革

工場プロジェクトを成功させるためには、関係者全員が一元化されたデータソースと設計を使用できる環境が不可欠だ。「統合工場モデリング」はそうした環境を実現する有力なソリューションだ。本資料では3社の導入事例を紹介する。

昨今の製造業では、プロジェクトに関わるステークホルダーが増加したことによる、情報伝達ミスやデータ分断という問題が頻発している。この状況を改善するには、コミュニケーションとデータの統合が必要だ。その方法を解説する。

半導体製造プロセスが微細化する昨今、ナノサイズのパーティクルも歩留まり悪化の要因となるため、装置内で使うケーブルも、低発塵かつ低アウトガス特性であることが求められる。この要件を満たすケーブルを取り上げ、特長を解説する。

半導体露光装置の製造現場となるクリーンルーム環境で、ケーブルチェーン内のケーブルからの発塵は大きな課題だが、それを取り除くのは容易ではない。この解決策として注目される2種類のケーブルの実力を、発塵試験の結果を基に紹介する。