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パナと東京精密が共同開発、プラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置：AL300P／APX300

パナソニックスマートファクトリーソリューションズと東京精密は、共同開発したプラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置「AL300P」の受注開始を発表した。

» 2018年03月16日 08時00分公開

レーザーパターニング装置「AL300P」（東京精密製）

　パナソニックスマートファクトリーソリューションズ（以下、PSFS）と東京精密は2018年3月12日、共同開発したプラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置「AL300P」の受注開始を発表した。

　AL300Pは、シリコンウエハーからダメージレスでチップを切り出すことが可能なプラズマダイシング工法向けの新製品で、PSFS製のプラズマダイシング装置「APX300」専用に開発された。

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