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» 2017年11月24日 12時00分 公開

TDK C33、C39シリーズ:車載、IoT機器用の小型MEMS圧力センサーダイ

TDKは、±0.35%の長期精度安定性を備えた小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、車載機器やIoT(モノのインターネット)機器、民生機器に適している。

[提供:EDN Japan編集部,TechFactory]

±0.35%(FS)の長期精度安定性

 TDKは2017年10月、±0.35%の長期精度安定性を備えた、小型MEMS圧力センサーダイを発表した。1×1×0.4mmの「C33」シリーズと0.65×0.65×0.24mmの「C39」シリーズの2種で、C33は車載機器、C39はIoT(モノのインターネット)機器および民生機器に適している。

MEMS圧力センサーダイ「C33」「C39」シリーズ MEMS圧力センサーダイ「C33」「C39」シリーズ

 C33は車載向け電子部品規格「AEC-Q101」に準拠し、絶対圧力1.2〜10bar用に設計されている。標準動作電圧は3Vで、感度は使用する圧力タイプ別に15〜80mV/bar(5V供給時)。−40〜135℃の温度範囲に対応し、短時間なら140℃での使用も可能だ。

 C39は厚さ0.24mmと薄型のため、スマートフォンやウェアラブルデバイスなど、スペースに限りのある機器に向く。絶対圧力1.2bar用に設計され、標準動作電圧は3V。

 両シリーズとも、ピエゾ抵抗の原理に基づいてホイートストンブリッジを組み、加えられた圧力をアナログ電圧信号として出力する。

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