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» 2017年04月13日 15時00分 UPDATE

オムロン ZW-5000シリーズ:ファイバー同軸変位センサーの小スポットタイプを発売

オムロンは、ファイバー同軸変位センサーの小スポットタイプ「ZW-5000シリーズ」を発売した。

[提供:MONOist編集部,TechFactory]

 オムロンは2017年4月、ファイバー同軸変位センサーの小スポットタイプ「ZW-5000シリーズ」を発売した。

オムロンのファイバー同軸変位センサー「ZW-5000」 出典:オムロン オムロンのファイバー同軸変位センサー「ZW-5000」 出典:オムロン

 半導体やフラットパネルディスプレイなど、微細な電子部品や部品間の狭いすき間の高さや形状の測定が求められている。一方、従来型の変位センサーでは、センサーヘッドから照射する光のスポットサイズが測定対象よりも大きく、正確な測定が行えず、品質検査上の課題となっていた。そこで、オムロンでは独自の光学設計技術により照射光のスポットサイズを最小10μm以下に絞った「ZW-5000シリーズ」を開発した。

 「ZW-5000シリーズ」は、微細部品のすき間や位置、形状などを高精度に測定するために、センサーヘッドから照射する光のスポットサイズを従来製品比5分の1に絞った非接触型変位センサーである。オムロン独自の「白色共焦点方式」を搭載し、さまざまな素材や形状の測定対象物を、センサーヘッドを移動させながら連続してミクロンオーダーで計測することが可能。高精度な品質検査と検査時間の短縮を実現する。

白色共焦点方式変位センサーによるスポット径の違い 出典:オムロン 白色共焦点方式変位センサーによるスポット径の違い 出典:オムロン

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