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» 2016年08月04日 15時00分 UPDATE

キヤノン FPA-3030EX6:IoT関連機器やパワーデバイス向けの半導体露光装置

キヤノンは、アナログ/センサー/通信などのIoT関連機器やパワーデバイス向けに、半導体露光装置「FPA-3030EX6」の販売を開始した。

[提供:MONOist編集部,TechFactory]

 キヤノンは2016年7月、アナログ/センサー/通信などのIoT(モノのインターネット)関連機器やパワーデバイス向けに、半導体露光装置「FPA-3030EX6」を発売した。

 FPA-3030EX6は、直径200mm以下の小型基板に対応した、KrFエキシマレーザーステッパーとなる。KrFエキシマレーザーステッパーとは、クリプトン(Kr)ガスとハロゲンガスのフッ素(F)ガスを混合して発生させるレーザー光を利用した半導体露光装置で、露光波長は248nmとなる。

 同製品は、水銀ランプ波長365nmの光源を利用した同社のi線ステッパー「FPA-3000EX6」と共通のウエハー搬送システムを搭載。シリコン/サファイア/炭化ケイ素/ガラスなど、さまざまな材質/径/厚さの基板搬送に対応できる。

 搬送可能なウエハーサイズは直径100/125/150/200mmで、解像力は150nm、重ね合わせ精度は25nm以下、処理能力は毎時121枚以上の性能を備えた。また、FPA-3000EX6のレチクルやレシピを使用することで、既存の設備や資産の有効活用が可能。操作性の高いユーザーインタフェース「e-Console」を採用したほか、オンラインで装置状態のモニタリングが可能で、メンテナンス性も向上した。

半導体露光装置「FPA-3030EX6」 半導体露光装置「FPA-3030EX6」

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